技术指标

微米压痕测试仪:

 最大载荷≧40N,载荷分辨率≦0.75mN

 可实现的最小载荷: 500mN

 位移分辨率≦0.2nm

 可实现的自小位移: 3nm

 可实现的最大位移: 300µm
微米划痕测试仪：

 划痕正向力最大载荷:40N

 划痕正向力最小载荷: 500mN

 最大摩擦力: 40N

 最大划痕深度: 300µm

 最大划痕长度:90mm

 划痕速度:0-240mm/min
精密定位平台：

 X方向移动范围: 150mm

 Y方向移动范围: 150mm

 工作台XY方向定位分辨率: 0.25µm

 定位精度< 1µm

 Z方向最大移动移动范围:50mm
三维表面形貌仪技术参数:

 Z方向测量范围300Hm

 Z方向测量分辨率2nm

 XY方向测量范围:150mm* 150mm

主要功能

用于各种金属、半导体薄膜的结合力测试；
涂层表面力学性能的测试；
可用于测试材料表面粗糙度。

所在单位 机电工程学院

生产厂商 美国NANOVEA公司

型号规格 HMT-P

联系人  杜鑫

联系电话 13781992301

收费标准 压痕：80元/点 划痕：180元/条 摩擦磨损：180元/条