技术指标

射频源：50瓦射频电源，具有功率自动匹配功能

真空系统：70升/秒分子泵搭配两级隔膜泵

气压：基本压力5E - 6Torr，工作压力400mTorr

真空规：紧凑的皮拉尼规

舱室：尺寸为3.5”直径×2.0”深度，两个前置接口可装载TEM适配器，顶部入口用于放入SEM样品台等

观察窗：前置观察窗可观察等离子体发光

电磁阀：内置电磁阀隔离舱室与真空泵，抽真空不到1分钟，放气小于5秒

气体控制：用精确质量流量计测量及控制流量

气体种类：三路独立气体，H₂、O₂和Ar

清洗配方：有H₂/O₂配方等，支持用户自定义

用户界面：交互式触摸屏，支持多种语言

电源：通用电压/频率100VAC - 240VAC/50 - 60Hz/1000W

主要功能

是一款先进的等离子体清洗系统

利用等离子体去除TEM和SEM样品台或样品表面的碳氢化合物污染，具有清洗速度快、对样品损伤小等特点

所在单位 化学与材料工程学院

生产厂商 美国gatan公司

型号规格 950.M

联系人  李亚珍

联系电话 18789488786

收费标准 50元/时（≤0.5时，按30元收费；>0.5时，按50元收费。）