技术指标

两个离子源电压100eV~6.0KV连续可调
束流密度最高可达10 mA/cm2，连续可调
减薄入射角-10° ~+ 10°
样品台旋转0° ~ 360°

主要功能

具有双侧和低角度研磨的功能；
通过对离子束的调整可提供单面及双面研磨；合并装置无须冷冻镜台--CCD即时影象系统(选配)；CAIBE大大改进了对半导体材料的研磨厚度

所在单位 化学与材料工程学院

生产厂商 gatan公司

型号规格 GATAN/695.B

联系人  杜全周

联系电话 18737386699

收费标准 50元/样